De meevaller ontstond doordat een deel van de omzet kon worden geboekt op een machine met een nieuwe technologie op basis van extreem ultra-violet licht (EUV). Met de EUV-technologie kunnen chipfabrikanten tegen lagere kosten nog kleinere en krachtigere chips maken. Het bedrijf kreeg afgelopen kwartaal drie nieuwe orders voor nieuwe EUV-machines.  
De nettowinst van ASML steeg met 12 procent naar 396 miljoen euro. Het Veldhovense concern verwacht in het vierde kwartaal een omzet van 1,7 tot 1,8 miljard euro te halen.