ASML verkoopt momenteel hoofdzakelijk chipmachines die gebaseerd zijn op immersietechnologie. Daarbij wordt de lichtbundel waarmee schakelingen worden geëtst op plakjes halfgeleidermateriaal, nog scherper gesteld met behulp van een laagje vloeistof.

Nikon claimt dat het die techniek heeft ontwikkeld en dat ASML er zonder toestemming mee aan de haal is gegaan. Het bedrijf is daarom juridische procedures begonnen in Nederland, Duitsland en Japan. De zaak in Nederland is aanhangig gemaakt bij de rechtbank in Den Haag.

Ontkenning ASML
ASML liet weten kennis te hebben genomen van de mededeling van Nikon. "We zullen dit bericht bekijken en er op een later moment op reageren. ASML ontkent met klem dat het op enigerlei wijze inbreuk maakt op patenten van Nikon. We zullen ons krachtig verweren in elke rechtszaak'', aldus het bedrijf.