Om wat voor stoffen het gaat, is nog niet duidelijk. Volgens een woordvoerder gaat het waarschijnlijk om meerdere chemicaliën, omdat er meerdere meters waren aangeslagen.

Tientallen medewerkers van de TU stonden op straat. Er vielen geen gewonden. Zodra de installatie gerapareerd was, is het gas afgezogen. Rond 16.00 uur werd er geen stof meer gemeten. Maar om het zekere voor het onzekere te nemen, bleef het gebouw de rest van de maandag dicht.

Micro-elektronica
De chemicaliën kwamen vrij bij het maken en testen van micro-elektronica. Dat gebeurt in een cleanroom, een ruimte die volledig stofvrij is. Omdat die ruimte steriel moet blijven, kan hij niet zomaar gelucht worden. De gevaarlijke stoffen konden de ruimte ook niet uit, dus buiten het gebouw is er geen gevaar.